半導體技術的不斷發(fā)展和晶片的縮小，使得晶片計量設備將精密運動的控制水平不斷提高，以確保光學系統(tǒng)元件滿足這些苛刻的性能要求。在垂直于運動軸的兩個軸上的跳動、鉆孔的圓度以及在運動期間和結束時的動力都特別重要。必須具備極低且一致的摩擦力和最佳的移動和穩(wěn)定性能。設計和制造可靠地達到這種性能水平的機電一體化組件，需要具有高級機電一體化專門技術的可靠精密運動合作伙伴、高性能電機和編碼器元件、復雜的微細加工工藝以及軸承系統(tǒng)、特殊材料和制造工藝方面的專業(yè)知識。

Celera Motion的機電一體化團隊使用Juke音圈電機和Mercury編碼器作為核心元件來提供所需性能，設計出一個精密的線性平臺機構，可在Y和Z方向進行跳動調(diào)整。使用特殊材料和微細加工工藝來滿足客戶要求苛刻的性能和環(huán)境規(guī)格。Celera Motion團隊實施了高效和可擴展的測試和校準方法，包括坐標測量機（CMM）儀器、共焦激光器、稱重傳感器，數(shù)碼相機和單軸運動控制器，而且它們均由Celera Motion的內(nèi)部軟件程序進行控制。成功引進設計和制造流程，并快速升級為連續(xù)生產(chǎn)，從而滿足了客戶苛刻的交付計劃。

精密平臺設計與定制校準和測試軟件結合使用，能夠在最終組裝的幾分鐘內(nèi)實現(xiàn)超精細的跳動功能。要具備設計既可調(diào)節(jié)又可在幾十毫秒內(nèi)移動并穩(wěn)定下來的精密滑塊的能力，需要最先進的設計和硬件。Celera Motion編碼器提供行業(yè)領先的光學對齊邊距和納米級分辨率。Celera Motion的電機生產(chǎn)線致力于實現(xiàn)高產(chǎn)出外形尺寸比，使其成為專門化作業(yè)的理想選擇，其中最小的空間和最大的性能要求是非常重要的。